USHIO推出LED光源投影曝光机UX-4系列并接受订单

USHIO（牛尾）推出并接受订单的两款采用自研LED光源的全场投影曝光机UX-44101SCB与UX-45114SCB，用LED替代传统汞灯，光强与汞灯相当，用于功率半导体、MEMS传感器及光电子融合器件的图形化。 新机型无汞，可瞬时开关光源以延长寿命、降低运行成本，支持Bump和WLP等高曝光剂量工艺，产能达120 WPH以上。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。