EE Times· USHIO INC.·· 21 分钟前AI 评分45
Ushio 接受 LED 光源投影曝光机 UX-4 系列订单
Accepting Orders for the LED Light-Sourced Projection Aligners
AI 导读
Ushio 推出采用自研 LED 光源的全场投影曝光机 UX-44101SCB 与 UX-45114SCB，光强与传统汞灯相当，用于功率半导体、MEMS 传感器及光电子融合器件的图形化。新机型无汞、可瞬时开关以延长光源寿命并降低运行成本，支持 Bump 和 WLP 等高曝光剂量工艺，产能达 120 WPH 以上。
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来源：EE Times · eetimes.com