跳到正文
EE Times· Pat Brans·· 19 天前AI 评分60

欧洲先进芯片制造的隐形角色:Fraunhofer 小批量供应 IMS Nanofabrication 多束电子束掩模写入芯片

Small Volumes, Big Impact: Europe’s Hidden Role in Advanced Chipmaking

AI 导读

EE Times 报道,德国 Fraunhofer ISIT 为奥地利 IMS Nanofabrication 制造多束电子束掩模写入系统中的关键控制芯片,该设备用于为 Intel 和 TSMC 等厂商的 5nm 及以下 EUV 光刻快速写入光掩模。芯片采用 50nm 以下 CMOS 工艺,Fraunhofer 再进行后 CMOS 加工。

AI 生成摘要 · 以原文为准

来源:EE Times · eetimes.com